如何掌控并提高未來對于真空環(huán)境作業(yè)的可靠性和質(zhì)量，避免因高真空環(huán)境而帶來設(shè)備無法工作的問題？

現(xiàn)代工廠，例如LED或OLED的生產(chǎn)中會(huì)越來越多涉及到真空環(huán)境；自上世紀(jì)90年代起在晶圓生產(chǎn)過程中廠家設(shè)法避免微小灰塵的進(jìn)入。當(dāng)今的生產(chǎn)過程 如噴鍍（將固體材料物質(zhì)以粒子的形式在另一物體表面形成一層很薄、精確的涂層）會(huì)摻雜空氣中其他物質(zhì)。

為什么不可以將電機(jī)直接工作在真空罐中？這樣會(huì)比較簡單。普通的電機(jī)由于散發(fā)微小粒子和分子沉淀會(huì)污染真空罐。其中的有機(jī)物比如潤滑脂，粘合劑，絕緣層和其他物質(zhì)會(huì)有氣體產(chǎn)生，而將普通電機(jī)用在真空環(huán)境中會(huì)帶來污染真空罐或其他精密儀器的風(fēng)險(xiǎn)。真空環(huán)境中，普通電機(jī)所散發(fā)氣體量，取決于電機(jī)自身等級和工作環(huán)境溫度，或許普通的電機(jī)可以偶爾能工作在低真空環(huán)境中，但是在高真空和超高真空環(huán)境中是絕對無法使用的。

來自Phytron公司的市場產(chǎn)品戰(zhàn)略總監(jiān)說“一個(gè)外科醫(yī)生永遠(yuǎn)不會(huì)用帶有灰塵的雙手實(shí)施手術(shù)。同樣，為了滿足真空應(yīng)用，一個(gè)工程師會(huì)考慮選擇合適的材料和適當(dāng)?shù)目刂品椒?。并不是所有的電機(jī)都可以在真空中正常工作，并不是所有的電機(jī)都適合真空使用”

由于無法直接用在真空罐中，因此普通電機(jī)通常被安裝在真空罐外部，此時(shí)放置在真空罐內(nèi)部的機(jī)械裝置通過導(dǎo)孔（真空罐壁于外部連接部分）被外部電機(jī)所驅(qū)動(dòng)。雖然這種方式看起來可以節(jié)省真空罐內(nèi)部的空間，但是如果想通過外部的電機(jī)實(shí)現(xiàn)真空罐內(nèi)部多維機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制，這樣做法顯然會(huì)受到很大制約，即使可以實(shí)現(xiàn)，采用這種方式的成本也會(huì)很高，真空罐內(nèi)部空間會(huì)被大量復(fù)雜的、額外機(jī)械部件所占用。

另一個(gè)方面，使用普通電機(jī)通過導(dǎo)孔與真空罐內(nèi)部連接并不代表沒有風(fēng)險(xiǎn)，導(dǎo)孔的密封本身就是一個(gè)隱患，最糟糕的情況可能會(huì)是由于內(nèi)外壓強(qiáng)差真空失去控制，導(dǎo)致真空罐內(nèi)真空受到污染，影響整批產(chǎn)品生產(chǎn)。在這種情況下，唯一能做的只能更換泄露部件，罐內(nèi)需要重新抽真空，根據(jù)不同的真空罐尺寸和真空度等級，重修時(shí)間可能需要幾個(gè)小時(shí)甚至是需要幾天的時(shí)間，如此一來會(huì)造成相當(dāng)大的生產(chǎn)損失和大量的電能浪費(fèi)。